JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
作者:标准资料网 时间:2024-05-18 20:07:48 浏览:9871
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基本信息
标准名称: | 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉 |
英文名称: | Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by Czochralski method |
中标分类: | 电工 >> 电气设备与器具 >> 工业电热设备 |
ICS分类: | 机械制造 >> 工业炉 >> 电炉 |
发布部门: | 中华人民共和国国家发展和改革委员会 |
发布日期: | 2004-03-12 |
实施日期: | 2004-08-01 |
首发日期: | 1900-01-01 |
作废日期: | 1900-01-01 |
提出单位: | 中国机械工业联合会 |
归口单位: | 全国工业电热设备标委会 |
起草单位: | 西安理工大学晶体生长设备研究所 |
起草人: | 陈巨才 |
出版社: | 机械工业出版社 |
出版日期: | 2004-08-01 |
页数: | 11页 |
批文号: | 发改委2004-17 |
书号: | 15111.7349 |
适用范围
本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求,包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。
本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类: 电工 电气设备与器具 工业电热设备 机械制造 工业炉 电炉
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